专利名称：光敏性组合物专利类型：发明专利
发明人：E·W·恩格,N·M·菲利克斯,M·帕德马纳班,S·查克拉帕
尼
申请号：CN200980147193.0申请日：20091201公开号：CN102227680A公开日：20111026
摘要：本发明涉及新型光敏性组合物，其包含a)有机聚合物，b)结构(1)的光碱产生剂，和c)任选地，光酸产生剂，(AOC)-B-(COA)，其中A和A独立地是阳离子，x是大于或等于1的整数，B是非氟化烃结构部分。所述光敏性组合物可以用作光致抗蚀剂组合物或用作碱可显影抗反射底层涂料组合物。
申请人：AZ电子材料美国公司
地址：美国新泽西
国籍：US
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：杨立芳
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