专利名称：图像传感器的制造方法专利类型：发明专利发明人：金相植
申请号：CN200610156704.3申请日：20061228公开号：CN1992208A公开日：20070704
摘要：本发明公开了一种图像传感器的制造方法。该方法包括如下步骤：制备形成有多个光电二极管的半导体衬底；在该半导体衬底上形成层间介电层；在该层间介电层上形成滤色层；在该滤色层上形成平坦化层；以及利用传热液体在该平坦化层上形成微透镜。由于微透镜浸入到高温的传热液体中，所以热量均匀地作用至微透镜，这样，防止微透镜彼此结合。由于均匀地形成微透镜的弯曲表面，所以可以提高图像传感器的感光度和色彩重现性能，由此得到高质量的图像传感器。
申请人：东部电子股份有限公司
地址：韩国首尔
国籍：KR
代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司
代理人：郑小军
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