专利名称：具有悬臂结构的压电MEMS装置专利类型：发明专利
发明人：D.多塞夫,D.P.波塔塞克,M.A.奇尔德里斯申请号：CN201911292753.3申请日：20191213公开号：CN112284513A公开日：20210129
摘要：本发明的主题是“具有悬臂结构的压电MEMS装置”。一种MEMS装置包括第一层、第二层、第一系留部分、第二系留部分和MEMS装置主体，所述第二层连接到所述第一层。所述MEMS装置主体连接到所述第一系留部分和所述第二系留部分。所述MEMS装置主体还包括第一悬臂、第二悬臂和弹簧，所述第一悬臂附接到所述第一系留部分，所述第二悬臂附接到所述第二系留部分。所述弹簧与所述第一悬臂和所述第二悬臂可操作地连通。
申请人：罗斯蒙特航天公司
地址：美国明尼苏达州
国籍：US
代理机构：中国专利代理(香港)有限公司
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