设立外商投资企业必须经过的流程包括：工商局办理名称预先核准、经发局办理批准证书、工商局办理营业执照、质监局办理组织机构代码证、公安局刻制印章、国地税局税务登记、银行开户、外汇管理局外汇登记等步骤。
以上步骤是任何外商投资企业设立都需要经过的程序，但由于设立企业经营范围的不同，根据法律的规定在获得批准证书或者营业执照时，可能会有不同的前置审批程序。
（一）在向经发局申请办理批准证书前，对于某些从事特殊行业的企业，需要获得其他部门的前置审批，例如：经营图书、期刊及音乐制品批发零售需要取得省级新闻出版部门的批准；从事演出场所经营，需要先获得省文化厅、国家文化部颁发的营业性演出许可证；生产型企业需要进行环境影响评估，获得环保局的批复意见；
（二）在向工商局申请办理营业执照前，根据从事业务性质的不同，会需要不同的材料，例如：餐饮服务许可证、公共场所卫生许可证、进出口商品目录、商业企业信息备案表等。
一、外商投资企业设立登记所需的资料
（一）预先核准所需提交的材料，预先核准是在工商局外资窗口办理，所需提交的材料包括：
1、名称预先核准登记申请书（投资方法人代表签字）；
2、投资方注册证明文件（须有公证、认证文件的复印件及翻译）
（二）办理批准证书所需提交的材料
外商投资企业批准证书是在经发局（或者商务局）办理，所需提交的材料包括：
1、公司设立申请报告
2、可行性研究报告
3、环保预审意见（生产型企业需要）
4、进出口商品目录（贸易型企业需要）
5、商业企业信息备案表（贸易型企业需要）
6、公司章程
7、注册证明文件及公证、认证文件复印件
8、银行资信证明原件
9、董事会、监事会、总经理任命文件及身份证明复印件
二、外商投资企业法人独资
外商投资企业，是指依照中国法律在中国境内设立的，由中国投资者与外国投资者共同投资，或者由外国投资者单独投资的企业。依照外商在企业注册资本和资产中所占股份和份额的比例不同以及其他法律特征的不同，可将外商投资企业分为四种类型：
合资经营：中外合资经营企业是由中外合营各方共同投资、共同经营，并按照投资比例共担风险、共负盈亏的企业。其主要法律特征是：外商在企业注册资本中的比例有法定要求；企业采取有限责任公司的组织形式。故此种合营称为股权式合营。
合作经营：中外合作经营企业是中外合作各方通过合作企业合同约定各自的权利和义务的企业。其主要法律特征是：外商在企业注册资本中的份额无强制性要求；企业采取灵活的组织管理、利润分配、风险负担方式。故此种合营称为契约式合营。
外资企业：其主要法律特征是：企业全部资本均为外商出资和拥有。不包括外国公司、企业和其他经济组织在中国境内设立的分支机构。
外商投资合伙：是指外国企业或者个人与中国的企业或者经济组织（不包括个人）在中国境内设立的合伙企业。