光刻工艺步骤
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热心网友
好象只有7个步骤吧,呵呵,看看这个吧,是PDF文档的，希望能帮到你.呵呵
http://59.72.0.99/software/net/bdt/shiyan/21.pdf
参考资料：http://59.72.0.99/software/net/bdt/shiyan/21.pdf
热心网友
prime--coating---softbake---photolitho---PEB---dev---hardbake---ADI. 8步
